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瑞士VAT閥快速關(guān)閉/梁式止動閥快速關(guān)閉/梁式止動閥一類特殊的保護(hù)閥，在發(fā)生泄漏時，可以防止不受控制的壓力上升或污染的氣體流入工藝區(qū)。擋束閥允許快速中斷加速器系...
瑞士VAT閥22.0 隔膜閥22.0 隔膜閥氣體和液體的多功能解決方案22.0 隔膜閥基于隔膜原理，具有高導(dǎo)電性，機(jī)械部件與介質(zhì)隔離。它配有耐用的氟橡膠隔膜，可...
瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥21.1 氣體計量閥真空室的受控、可再現(xiàn)氣流引入
瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥滿足超高真空要求
瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠工藝。該系列有角度...
瑞士VAT閥VAT 24.5 內(nèi)聯(lián)閥角閥的關(guān)鍵性能指標(biāo)是可靠性與可變性。24.5 內(nèi)聯(lián)閥系列結(jié)合了可靠性和可變性。該系列旨在針對高污染甚至輕微污染的氣流實現(xiàn)大尺...
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